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| 名稱(chēng):超純氨氣 型號(hào): | | | | |
高純氨
高純氨主要應(yīng)用于新型光電子材料領(lǐng)域,是MOCVD技術(shù)制備GAN的重要基礎(chǔ)材料。由GAN生產(chǎn)高靈敏度藍(lán)光發(fā)光二級(jí)管和藍(lán)光激光器,以及其它相關(guān)電子器件,是國(guó)內(nèi)外都在搶占的產(chǎn)業(yè)。高純氨還是制備三氟化氮、氮化硅、的基礎(chǔ)材料,是生產(chǎn)超高級(jí)氮的原料氣。此外,液氨廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、冶金工業(yè),以及需要保護(hù)氣氛的其他工業(yè)和科學(xué)研究中。
商品詳細(xì)介紹 |
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A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.(一種無(wú)色,有毒,可燃,具腐蝕性的可液化氣體) |
Formula(分子式): |
NH3 |
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Molecular weight(分子量): |
17.03g/mol |
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Boiling point(沸點(diǎn)): |
-33.4℃ |
28.1°F |
Melting point(熔點(diǎn)): |
-77.7℃ |
107.9°F |
Vapor pressure(蒸汽壓): |
888KPa(21.1℃) |
129Psia(70°F) |
Specific volume(比容): |
1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa) |
22.6ft3/lb(70°F,14.696psia) |
Lower Flammable Limit(最低可燃性含量): |
15% |
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Upper Flammable Limit(最高可燃性含量): |
30% |
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Threshold Limit Value(人體的最高容許濃度): |
25ppm |
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DOT Classification(DOT類(lèi)別): |
2.2(Flammable Gas)(可燃性氣體) |
DOT Lable(DOT標(biāo)簽): |
FLAMMABLE GAS(可燃性氣體) |
電子工業(yè)用氣體 氨(GB/T14601-2009) |
項(xiàng)目名稱(chēng) |
電子級(jí) |
光電子級(jí) |
氨(NH3)純度(體積分?jǐn)?shù))/10-2 ≥ |
99.9995 |
99.99994 |
氧(O2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < |
1 |
0.1 |
氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < |
1 |
— |
氫(H2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < |
— |
0.1 |
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < |
1 |
0.05 |
二氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < |
— |
0.1 |
烴(C1~C3)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < |
1 |
0.05 |
水分(H2O)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < |
3 |
0.2 |
總雜質(zhì)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤ |
5 |
0.6 |
應(yīng)用:晶圓清洗、在CVD過(guò)程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜 |
| | 點(diǎn)擊次數(shù):2890 | |
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